譜純氣體|各地配送(圖)-電子特種氣體-特種氣體：

 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。在半導(dǎo)體制造過程中涉及的材料眾多，在半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體，因此電子特種氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。對特氣的危害性進(jìn)行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評估。管道設(shè)計應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。

 目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU標(biāo)記(例如、、有毒等) 。 　

特種氣體的儲存注意事項：為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患，存放場地需平坦，操作需謹(jǐn)慎、輕柔；并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅固位置。特種氣體的重要性：正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大，應(yīng)用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽(yù)為集成電路制造中的“血液”。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。

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